VEGA系列的设计适合各种SEM应用及当今研究和工业的需求。经过10多年的不断发展，TESCAN已经成功开发、研制和制造了VEGA的第三代产品。
　新一代的VEGA给用户带了最新的技术优势，包括改进的高性能电子设备使成像速度更快，包含了静态和动态图像扭曲补偿技术的超快扫描系统，内置的编程软件等，使VEGA系列产品保持着非常高的性价比。

LaB6发射源

现代电子光路
　－独特的四透镜大视野光路设计提供各种各样的工作与显示模式
　－以电磁的方式改变物镜光阑——中间镜的作用如同"光阑转换器"
　－透镜与线圈的优质材料使成象率达到20ns/像素，并减少了动态扭曲效应
　－结合了完善的电子光学设计软件的实时电子束追踪（In-Flight Beam Tracing™），可模拟和优化电子束
　－镜筒设计提供了全自动电子光路设置，镜筒不含机械对中结构
　－3维电子束技术提供了实时立体图像

检修方便

自动操作

用户界面友好的软件
　－用户界面有各种语言版本
　－多用户界面（包括了EasySEMTM模式）不同账户的权利使常规分析过程更快
　－图像文件管理与报告生成
　－内置的自动系统检查
　－通过局域网或互联网可实现电镜远程诊断
　－模块化软件体系结构
　－标准的软件模块包括了：测量工具、图像处理、对象区域等
　－选配软件包括了：颗粒度分析、三维表面重构等

可选：

VEGA3 GM

VEGA3 XM

VEGA3 LM

VEGA3 SB - EasyProbe

VEGA3 SB